发明名称 METHOD FOR ANALYZING LAYERED STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH05332729(A) 申请公布日期 1993.12.14
申请号 JP19920142956 申请日期 1992.06.03
申请人 HAMAMATSU PHOTONICS KK 发明人 MURAKI KOJI;TAKAMOTO HISANOBU;HIRAMATSU MITSUO
分类号 G01B11/06;G01N21/47;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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