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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0685085(A)
申请公布日期
1994.03.25
申请号
JP19920260698
申请日期
1992.09.03
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KANATAKE SHIGEHIKO
分类号
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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