| 发明名称 |
MEASUREMENT OF C-V OF SEMICONDUCTOR WAFER AND MEASUREMENT OF MOVABLE ION QUANTITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07130809(A) |
申请公布日期 |
1995.05.19 |
| 申请号 |
JP19930303396 |
申请日期 |
1993.11.08 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HIRAE SADAO;KUSUDA TATSUFUMI;MATSUBARA HIDEAKI |
| 分类号 |
G01R27/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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