发明名称 LASER FILM-FORMATION WIRING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07130734(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930271950 申请日期 1993.10.29
申请人 HOYA CORP 发明人 HARA HIDEO;UCHIKURA TAKAO
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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