发明名称 Method for using ultrasonic treatment in combination with uv-lasers to enable plating of high aspect ratio micro-vias
摘要
申请公布号 AU4994597(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 AU19970049945 申请日期 1997.10.22
申请人 W.L. GORE + ASSOCIATES INC. 发明人 ROBIN E. GORRELL;MICHAEL R. LEAF;DAVID B. NODDIN
分类号 H01L21/48;H05K3/00;H05K3/46 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
主权项
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