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发明名称 METAL WIRING FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0166802(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950009119 申请日期 1995.04.18
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 JUN, MOON-MO;JUNG, BYUNG-TAE
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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