发明名称 在线密封检测装置、多节式密封腔加工设备及方法
摘要 本发明公开了一种在线密封检测装置,设置于两个部件的对接面,其包括:密封圈,其安装于两个部件的对接面内,该密封圈内设有周向的至少一腔室;进出气单元,其连通腔室的内部,该进出气单元上设置有至少一检测单元,该检测单元电连接处理器,用于检测进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值,然后将气体压力值和/或气体浓度值发送至处理器。本发明同时公开了一种多节式密封腔加工设备及在线密封检测方法。本发明与现有技术相比,可以实现对部件密封的在线检测,且可以同时对多节式密封腔加工设备的各工位进行检测,有效地提高对于多节式密封腔加工设备的密封检测效率。
申请公布号 CN105738047A 申请公布日期 2016.07.06
申请号 CN201610187386.0 申请日期 2016.03.29
申请人 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司 发明人 李春风
分类号 G01M3/26(2006.01)I 主分类号 G01M3/26(2006.01)I
代理机构 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人 何蔚
主权项 在线密封检测装置,设置于两个部件的对接面,其特征在于,包括:密封圈,其安装于所述两个部件的对接面内,所述密封圈内设有周向的至少一腔室;进出气单元,其连通所述腔室的内部,所述进出气单元上设置有至少一检测单元,所述检测单元电连接处理器,用于检测所述进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值,然后将所述气体压力值和/或气体浓度值发送至所述处理器。
地址 215026 江苏省苏州市苏州工业园区杏林街78号新兴产业工业坊2号厂房