发明名称 IMPROVEMENTS IN OR RELATING TO NON-CRUCIBLE ZONE MELITING OF SEMICONDUCTOR RODS
摘要 Floating zone melting of a silicon rod is monitored by a television camera which provides electrical pulses for controlling the melting zone to a programmed diameter and tangent angles of the melting zone profile.
申请公布号 HK26477(A) 申请公布日期 1977.06.10
申请号 HK19770000264 申请日期 1977.06.02
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 C30B13/30;(IPC1-7):01J17/10 主分类号 C30B13/30
代理机构 代理人
主权项
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