发明名称 Method for forming a non-planar structure on the surface of a semiconductor substrate
摘要
申请公布号 US4863562(A) 申请公布日期 1989.09.05
申请号 US19880155148 申请日期 1988.02.11
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. 发明人 BRYANT, FRANK R.;LIOU, FU-TAI
分类号 H01L21/32;H01L21/336;H01L21/762 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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