| 发明名称 |
METHOD OF TREATING SURFACES OF SUBSTRATES WITH THE AID OF A PLASMA |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU596935(B2) |
申请公布日期 |
1990.05.17 |
| 申请号 |
AU19880018222 |
申请日期 |
1988.06.21 |
| 申请人 |
TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN |
发明人 |
DANIEL CORNELIS SCHRAM;GERARDUS MARIA WILHELMUS KROESEN |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C14/32;C23C16/513;H05H1/42;(IPC1-7):H05H1/42 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
