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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0471880(B2)
申请公布日期
1992.11.16
申请号
JP19870164895
申请日期
1987.06.30
申请人
IBIDEN CO LTD
发明人
MINORA SEIJI
分类号
C23C14/50;C30B35/00;H01L21/205;H01L21/22
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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