发明名称
摘要
申请公布号 JPH0471880(B2) 申请公布日期 1992.11.16
申请号 JP19870164895 申请日期 1987.06.30
申请人 IBIDEN CO LTD 发明人 MINORA SEIJI
分类号 C23C14/50;C30B35/00;H01L21/205;H01L21/22 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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