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发明名称 Membrane probe contact bump compliancy system
摘要
申请公布号 US5180977(A) 申请公布日期 1993.01.19
申请号 US19910801702 申请日期 1991.12.02
申请人 HOYA CORPORATION USA 发明人 HUFF, RICHARD E.
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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