发明名称 |
EQUIPMENT AND METHOD FOR OPTICAL INSPECTION OF MATERIAL BODY |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06250092(A) |
申请公布日期 |
1994.09.09 |
申请号 |
JP19940017492 |
申请日期 |
1994.02.14 |
申请人 |
OOBOTETSUKU LTD |
发明人 |
IGARU KATOJIA;MOSHIE FUINAROBU |
分类号 |
G02B21/06;G01N21/88;G02B21/00;G02B27/28;(IPC1-7):G02B21/06 |
主分类号 |
G02B21/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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