发明名称 QUARTZ SUBSTITUTE MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH11151766(A) 申请公布日期 1999.06.08
申请号 JP19960267650 申请日期 1996.09.02
申请人 HAMAYA SUMIO 发明人 HAMAYA SUMIO
分类号 B05D1/18;B29C67/00;B32B1/02;B32B15/08;B32B27/00;C23G1/08;(IPC1-7):B32B1/02 主分类号 B05D1/18
代理机构 代理人
主权项
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