| 主权项 |
1.一种石英承板之改良,该石英承板适用于快速升温系统之热处理机台,该热处理机台具有一机器手臂,该石英承板系连接于一机器手臂上且该石英承板之上方具有一承载面,又该承载面系为一可供承置晶圆之平面,其特征在于该石英承板之承载面上设置有防滑装置,以防止石英承板之承载面上之晶圆因为机器手臂在驱动石英承板水平移动时,晶圆因为惯性力作用而由石英承板之承载面上滑落。2.如申请专利范围第1项所述之一种石英承板之改良,其中防滑装置系设置于承载面上之两端。3.如申请专利范围第1项所述之一种石英承板之改良,其中该防滑装置为一摩擦系数较石英承板大之粗糙表面。4.如申请专利范围第1项所述之一种石英承板之改良,其中该防滑装置之粗糙表面系利用珠击方式将石英砂附着于石英承板表面。5.如申请专利范围第1项所述之一种石英承板之改良,其中该防滑装置之厚度为0.3mm。图式简单说明:第一图系快速升温系统之热处理机台示意图。第二图系缓冲室之剖面图。第三图系本创作之石英承板之示意图。 |
