| 主权项 |
1.一种晶圆匣承靠板自锁机构,适用于承靠晶圆匣,且该晶圆匣承靠板自锁机构包括:一壳体,用以放置该晶圆匣,且该壳体具有一导槽;一滑块,以可于一第一位置与一第二位置之间移动之方式设置于该导槽;一第一连杆,其一端枢接于该滑块;以及一承靠装置,具有一支臂及设置于该支臂之一端的承靠板,且该支臂的另一端以可于一第三位置与一第四位置之间转动之方式设置于该壳体,同时枢接有该第一连杆的另一端,当该滑块由该第一位置滑动至该第二位置时,藉由该第一连杆而使该承靠装置由该第三位置转动至第四位置,以承靠该晶圆匣;其特征在于:该滑块与该壳体之间设有定位装置,用以将该滑块定位于该第二位置,进而将该承靠装置定位于该第四位置。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆匣承靠板自锁机构,其中该定位装置包括一固定片,固定在该壳体上;以及一拉伸弹簧,一端固定在该滑块上,另一端装设在该固定片上。3.如申请专利范围第1项所述之晶圆匣承靠板自锁机构,其中该定位装置为一弹簧,一端固定在该滑块上,另一端装设在该壳体上。4.如申请专利范围第1项所述之晶圆匣承靠板自锁机构,其中该定位装置为一固定销机构,其位于该滑块内,当该滑块到达该第二位置时,该固定销机构与该壳体之凹槽卡合。5.如申请专利范围第1项所述之晶圆匣承靠板自锁机构,其中该壳体由一导槽外罩与一舱门构成。6.如申请专利范围第1项所述之晶圆匣承靠板自销机构,其中该支臂大体成一L状,由一第一支架与一第二支架所构成。7.如申请专利范围第1项所述之晶圆匣承靠板自销机构,更包括一第二插销,位于该滑块上,向右推动时,连动该第一连杆与该承靠装置。8.如申请专利范围第1项所述之晶圆匣承靠板自锁机构,其中该第一连杆之一端以一第三插销与该滑块连接。9.如申请专利范围第1项所述之晶圆匣承靠板自机机构,其中该承靠装置的一端以一第四插销与该第一连杆的另一端连接。10.如申请专利范围第1项所述之晶圆匣承靠板自销机构,其中该第二支架藉由螺栓固定于该第一支架。11.如申请专利范围第1项所述之晶圆匣承靠板自销机构,其中该承靠板藉由螺栓固定于该第二支架。图式简单说明:第一图为一传送晶圆匣进出晶圆盒及加工机台之例如SMIF-ALU的简图;第二图为习知晶圆匣承靠板的推动机构之简图,其中承靠板为水平放倒;第三图为习知晶圆匣承靠板的推动机构之简图,其中承靠板为立起;第四图为本创作第一实施例之晶圆匣承靠板自销机构之简图,其中承靠板为水平放倒;第五图为本创作第一实施例之晶圆匣承靠板自锁机构之简图,其中承靠板为立起;第六图为本创作第二实施例之晶圆匣承靠板自锁机构之简图,其中承靠板为立起;以及第七图为本创作第三实施例之晶圆匣承靠板自锁机构之简图,其中承靠板为立起。 |
