Surface stabilization of silicon rich silica glass using increased post deposition delay,申请号GB19990020526-传众专利搜索

发明名称	Surface stabilization of silicon rich silica glass using increased post deposition delay
摘要
申请公布号	GB9920526(D0)	申请公布日期	1999.11.03
申请号	GB19990020526	申请日期	1999.09.01
申请人	MITEL CORPORATION	发明人
分类号	H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/316	主分类号	H01L21/3105
代理机构		代理人
主权项
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