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发明名称
Substrate support chuck having a contaminant containment layer and method of fabricating same
摘要
申请公布号
EP0806798(A3)
申请公布日期
1999.11.17
申请号
EP19970303105
申请日期
1997.05.07
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
HARVEY, STEFANIE E.
分类号
B23Q3/15;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
B23Q3/15
代理机构
代理人
主权项
地址
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