SENSOR MODULE AND A METHOD FOR THE PRODUCTION OF THE SAME

摘要

Auf einem Halbleitersubstrat (1) werden eine Thermosäule (2) und eine Auswerteelektronik (6) integriert. Auf den Kontaktreihen der Thermosäule und thermisch mit diesen verbunden sind zwei Erhöhungen (8, 9) aus Metall aufgebracht, die z.B. mit Anschlusszungen verbunden werden können, so dass ein Temperaturunterschied extern zum Halbleitersubstrat (1) gemessen werden kann. Da die Auswerteelektronik sich auf dem gleichen Substrat wie die Thermosäule befindet, können auf diese Weise Temperaturunterschiede mit hoher Genauigkeit und geringer Störanfälligkeit gemessen werden.