一种使用金属薄膜磁电阻探头的磁栅尺位移传感器

摘要

本发明提供了一种使用金属薄膜磁电阻探头的磁栅尺位移传感器。其特征在于：磁栅尺位移传感器由敏感元件金属薄膜磁电阻探头(13)和被充磁的磁栅尺带(12)构成，金属薄膜磁电阻探头(13)中的金属薄膜磁电阻(10)与磁栅尺带(12)之间的距离为10微米～10毫米；金属薄膜磁电阻探头(13)由印刷电路板(PCB)衬板(1)、基片层(2)、缓冲层(3)、在基片层(2)上溅射生成磁性金属合金薄膜层(4)、金属导电薄膜层(5)、保护层(6)、金丝压焊引线(7)、镀金电极(8)、挠性电路板引线(9)组成。其优点在于灵敏度高、温度稳定性好，信号处理电路简单。通过合理设计磁阻条的排列与分布达到降低和消除信号输出中的高次谐波仅保留基波，提高位移测量的细分精度。

主权项

1.一种使用金属薄膜磁电阻探头的磁栅尺位移传感器，其特征在于：由磁敏感元件金属薄膜磁电阻探头(13)和被充磁的磁栅尺带(12)构成；金属薄膜磁电阻探头(13)中的金属薄膜磁电阻(10)与磁栅尺带(12)之间的距离为10微米～10毫米；金属薄膜磁电阻探头(13)由印刷电路板(PCB)衬板(1)、基片层(2)、缓冲层(3)、在基片层(2)上溅射生成磁性金属合金薄膜层(4)、金属导电薄膜层(5)、保护层(6)、金丝压焊引线(7)、镀金电极(8)、挠性电路板引线(9)组成；磁性金属合金薄膜层被光刻成的具有1～500微米宽度、间隔和分组排列方式的金属薄膜磁电阻(10)，一个金属属薄膜磁电阻(10)由1～20个磁电阻条组成；光刻后的金属电极层将磁电阻连接成两个电桥电路并将输入输出端引出。