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发明名称 Diffusion system
摘要
申请公布号 EP1529855(A3) 申请公布日期 2005.06.22
申请号 EP20040255090 申请日期 2004.08.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JUN-YOUNG;CHOI, BYOUNG-IYONG;LEE, EUN-KYUNG
分类号 H01L21/223;C23C8/06;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/452;C23C16/54;C30B31/06;C30B31/10;C30B31/16;C30B35/00;(IPC1-7):C30B31/06 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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