| 发明名称 | 结构主体的制造方法、液滴排放头和液体排放装置 | ||
| 摘要 | 提供了一种能够避免复杂过程和较高成本的技术，同时在形成包括玻璃衬底的装置时获得功能单元的保护。一种用从玻璃衬底和半导体衬底所形成的粘合主体构造的结构主体的制造方法，包括：第一步骤，在玻璃衬底的一个表面上形成第一功能单元，用作结构主体的结构部件；第二步骤，将半导体衬底粘合到玻璃衬底的一个表面上以覆盖第一功能单元；第三步骤，通过从玻璃衬底的另外的表面侧辐射激光束并在玻璃衬底的厚度方向上扫描激光束的焦点而形成在玻璃衬底的厚度方向上延展的受影响区；以及第四步骤，通过蚀刻玻璃衬底和沿着受影响区域移除所述部分而在玻璃衬底上形成孔。 | ||
| 申请公布号 | CN100338739C | 申请公布日期 | 2007.09.19 |
| 申请号 | CN200410094633.X | 申请日期 | 2004.11.17 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 黑泽龙一 |
| 分类号 | H01L21/30(2006.01);H01L21/46(2006.01);C03C15/00(2006.01);B01J19/12(2006.01);G02B6/13(2006.01);B81C1/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/30(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 宋合成 |
| 主权项 | 1.一种用从玻璃衬底和半导体衬底所形成的粘合主体构造的结构主体的制造方法，包括：第一步骤，在玻璃衬底的一个表面上形成第一功能单元，用作结构主体的结构部件；第二步骤，将半导体衬底粘合到所述玻璃衬底的一个表面上以覆盖所述第一功能单元；第三步骤，通过从所述玻璃衬底的另外的表面侧辐射激光束并在所述玻璃衬底的厚度方向上扫描所述激光束的焦点而形成在所述玻璃衬底的厚度方向上延展的受影响区；以及第四步骤，通过蚀刻所述玻璃衬底和沿着所述受影响区域移除所述部分而在所述玻璃衬底上形成孔。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||