扫描显微镜以及用于扫描显微镜的声光主分束器

摘要

本发明涉及一种用于扫描显微镜的声光主分束器，它被实现和确定为将具有预选的或可预选的照明光波长的照明光引导到用于照射样品的照明光束路径上，并且将来自样品的探测光引导到探测光束路径上。该声光主分束器的特征在于，一个具有指定给该照明光波长的声频的机械波在该声光主分束器中传播，或者具有相同的、指定给该照明光波长的声频的多个机械波在该声光主分束器中传播，其中来自样品的探测光束通过与这个机械波的相互作用或通过与这些机械波的相互作用，既使探测光束的具有照明光波长和第一线偏振方向的部分偏转，也使探测光的具有照明光波长和与第一线偏振方向垂直的第二线偏振方向的部分偏转，并因此从探测光束中移除，和/或其中该声光主分束器被实现为，通过与这个机械波的相互作用或通过与这些机械波的相互作用，将照明光的具有预选照明光波长和第一线偏振方向的部分，以及照明光的具有预选照明光波长和与第一线偏振方向不同、尤其是垂直的第二线偏振方向的部分偏转到用于照射样品的照明光束路径上。

主权项

一种用于扫描显微镜的声光主分束器，所述声光主分束器被实现和设定为将具有预选的或可预选的照明光波长的照明光引导到照明光束路径以用于照射样品，并且将来自样品的探测光引导到探测光束路径上，其中，具有与所述照明光波长相关联的声频的机械波、或者具有与所述照明光波长相关联的相同声频的多个机械波在所述声光主分束器中传播，a.来自样品的探测光束通过与一个机械波的相互作用或通过与多个机械波的相互作用，既使所述探测光束的具有所述照明光波长和第一线偏振方向的部分偏转，也使所述探测光的具有所述照明光波长和垂直于所述第一线偏振方向的第二线偏振方向的部分偏转，并因此从所述探测光束中移除；和/或b.所述声光主分束器被实现为通过与一个机械波的相互作用或通过与多个机械波的相互作用，将照明光的具有预选的照明光波长和所述第一线偏振方向的部分，以及照明光的具有预选的照明光波长和不同于、特别地垂直于所述第一线偏振方向的第二线偏振方向的部分引导到照明光束路径以用于照射样品。