SAW Sensor Device and Method for Controlling Liquid Using the Same

摘要

SAW 센서 디바이스에 관한 기술로서, 유체의 흐름을 제어하는 유체제어부가 SAW 센서를 포함하는 본체부 외부에 형성됨으로써 유체 제어시 유체제어부의 오염에 의한 노이즈 발생을 최소화할 수 있고, 유체제어부의 반복 재사용이 가능하므로 경제성 및 실용성이 우수하다.