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发明名称 PROCESS FOR SILICON AND TRICHLOROSILANE PRODUCTION
摘要
申请公布号 US4117094(A) 申请公布日期 1978.09.26
申请号 US19770806245 申请日期 1977.06.13
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 BLOCHER, JR., JOHN M.;BROWNING, MELVIN F.
分类号 C01B33/02;C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/02;C01B33/08 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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