| 摘要 |
<p>개시된 초정밀 장비는 센서 증폭기 내장형 자기 부상 직선 운동 테이블에 관한 것이다. 본 고안은 리니어 가이드를 갖는 베드와, 상기 리니어 가이드로 지지되고 리니어 모터와 리니어 스케일로 이송되는 Y축 테이블과, 상기 Y축 테이블을 베드로 사용하고 복수개의 자기 베어링으로 지지되며 리니어 모터와 리니어 스케일로 이송되는 X축 테이블과, 상기 X축 테이블 상단에 장착되어 상기 자기 베어링의 신호의 레벨을 안정화시키는 센서 증폭기 및 상기 리니어 모터의 구동 및 상기 자기 베어링의 구동을 제어하기 위한 주 제어부로 구성된다. 따라서, 자기 베어링에 의하여 테이블이 자기 부상된 상태에서 완전한 무마찰로 인해 적은 구동력으로도 정밀한 직선 운동을 얻을 수 있으며, 자기 베어링에 내장된 센서 및 센서 증폭기에 의하여 테이블의 정확한 변위를 측정하고 그 신호를 궤환시켜 제어함으로써 외부 하중이나 외란 등에 대하여 능동적으로 작용하게 된다.</p> |
