컨베이어식 증착장비의 웨이퍼 위치 보정장치

摘要

본 고안은 컨베이어식 증착장비의 웨이퍼 위치 보정장치에 관한 것으로서, 작업자의 실수나 장비의 반송부분의 문제점이 있는 경우에도 로드 컨베이어의 하부에 설치된 감지부로 웨이퍼의 일부분이 증착영역을 벗어나는 지를 파악한 후 로드 컨베이어와 벨트의 경계부에 설치된 이송부로 웨이퍼를 증착영역의 내부로 밀어넣도록 구성하므로써 증착불량을 방지하여 수율을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.