반도체 제조용 종형로의 가스공급장치

摘要

본 고안은 반도체 제조용 종형로의 가스공급장치에 관한 것으로, 종래에는 튜브에 가스를 공급하는 가스노즐이 플랜지의 일측부분에 설치되어 있었으므로 공급되는 가스가 균일하게 분포되지 못하는 문제점이 있었던 바, 본 고안의 반도체 제조용 중형로의 가스공급장치는 가스노즐을 통해 유입된 가스가 튜브에 균일하게 공급되도록 플랜지의 상단면에 다수개의 홀을 일정간격으로 형성함으로써 튜브내 가스를 균일하게 분포시킬 수 있게 한 것이다.