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发明名称
摘要
申请公布号 JPH07120805(B2) 申请公布日期 1995.12.20
申请号 JP19870257703 申请日期 1987.10.12
申请人 发明人
分类号 H01L27/04;H01L21/336;H01L21/822;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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