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发明名称
摘要
申请公布号	JP2001503203(A)	申请公布日期	2001.03.06
申请号	JP19990509571	申请日期	1998.07.02
申请人		发明人
分类号	F16C32/06;F16F15/023;F16F15/04;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	F16C32/06
代理机构		代理人
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