| 发明名称 |
ANODICALLY OXIDIZED ALUMINUM ELECTRODE FOR PLASMA CVD AND ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08319573(A) |
申请公布日期 |
1996.12.03 |
| 申请号 |
JP19950146729 |
申请日期 |
1995.05.22 |
| 申请人 |
NITSUKOOSHI PROD KK |
发明人 |
MONZEN KAZUYUKI;WADA SUSUMU;MATSUBAYASHI YUSUKE;TOKUSHIMA TADAO |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/14;C23C16/50;C23F4/00;C25D11/04;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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