| 发明名称 |
Lithographic technique using laser scanning for fabrication of electronic components and the like |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0404340(B1) |
申请公布日期 |
1997.03.19 |
| 申请号 |
EP19900305359 |
申请日期 |
1990.05.17 |
| 申请人 |
QUANTUM CORPORATION |
发明人 |
DAS, SHYAM C ANDRA;KHAN, JAMALUDDIN |
| 分类号 |
B23K26/00;G03F7/20;G11B5/31;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
B23K26/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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