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发明名称 Semiconductor pressure sensor
摘要
申请公布号 EP0913678(A3) 申请公布日期 1999.11.17
申请号 EP19980119482 申请日期 1998.10.15
申请人 HITACHI, LTD.;HITACHI CAR ENGINEERING CO., LTD. 发明人 MIKI, MASAYUKI;SUZUKI, SEIKO;TSUCHITA, KENJI;MIYAZAKI, ATSUSHI;KUBOTA, MASANORI;YAMAGUCHI, SHINICHI;SASADA, YOSHIYUKI
分类号 G01L1/18;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
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