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经营范围
发明名称
PROCESS FOR LOW TEMPERATURE CVD USING BI-AMIDES
摘要
申请公布号
EP0966553(A1)
申请公布日期
1999.12.29
申请号
EP19980963040
申请日期
1998.12.10
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人
HINTERMAIER, FRANK;VAN BUSKIRK, PETER;ROEDER, JEFFREY, R.;HENDRIX, BRYAN;BAUM, THOMAS, H.;DESROCHERS, DEBRA, A.
分类号
C23C16/40;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):C23C16/40;H01L29/00;C23C18/12;C30B25/02
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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