晶片测试机的测片台

摘要

本发明涉及一种光学晶片测试机的测片台，包括托台、测片台面，U型支架安装于托台上，对称安装在气爪的两连接臂上各安装一根归正杆，连接臂上各安装一根归正杆间距调节螺钉(7)，测片台面上开有气孔，与真空接头连接。本发明结构优化，操作简便，降低了部件磨损对测量准确度的影响，降低了成本。

主权项

1、一种晶片测试机的测片台，包括托台(3)、测片台面(8)组成，其特征在于U型支架(2)安装于托台(3)上，气爪(10)的两连接臂(5)各安装一根归正杆(6)。