MASK FOR EXTREME ULTRA VIOLET LITHOGRAPHY AND METHOD FOR FABRICATING THE SMAE,申请号KR20040078013-传众专利搜索

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发明名称	MASK FOR EXTREME ULTRA VIOLET LITHOGRAPHY AND METHOD FOR FABRICATING THE SMAE
摘要
申请公布号	KR100570062(B1)	申请公布日期	2006.04.10
申请号	KR20040078013	申请日期	2004.09.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;H01L21/033	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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