| 发明名称 | 偏转器及其制造方法和应用偏转器的带电粒子束曝光装置 | ||
| 摘要 | 偏转器备有具有多个贯通口、和用于控制通过该贯通口的带电粒子束的轨道，与该各贯通口的侧壁对置地设置的第1电极和第2电极构成的电极对的电极基片(400)、和为了在电极基片的各电极对上个别地加上电压，具有与各电极对连接的连接配线焊点的配线基片(500)，通过配线基片的连接配线焊点，接合地形成电极基片和配线基片。 | ||
| 申请公布号 | CN100338719C | 申请公布日期 | 2007.09.19 |
| 申请号 | CN200410007276.9 | 申请日期 | 2004.02.27 |
| 申请人 | 佳能株式会社;株式会社日立高新技术 | 发明人 | 小野治人;赤池正刚;玉森研尔;广濑太;小山泰史;寺崎敦则;长永兼一;中山义则 |
| 分类号 | H01J37/04(2006.01);G03G15/04(2006.01);G03G15/043(2006.01) | 主分类号 | H01J37/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种偏转器，其特征在于：它备有具有多个贯通口、和用于控制通过该贯通口的带电粒子束的轨道，与该各贯通口的侧壁对置地设置的第1电极和第2电极构成的电极对的电极基片；和为了在上述电极基片的各电极对上个别地加上电压，具有与各电极对连接的连接配线焊点的配线基片，通过上述配线基片的连接配线焊点，接合形成上述电极基片和上述配线基片。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||