发明名称 MICROMECHANICAL COMPONENT WITH WAFER THROUGH-PLATING AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 EP2010449(A1) 申请公布日期 2009.01.07
申请号 EP20070727176 申请日期 2007.03.21
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 FEYH, ANDO
分类号 B81B7/00;B81C1/00;H01L21/768 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
主权项
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