蒸镀装置

摘要

本发明提供一种蒸镀装置，包括一用于容置一蒸镀材料之坩埚，该坩埚顶部具有一开口。该蒸镀装置还包括一套设于该坩埚开口上之遮罩，该遮罩之底部具有一与该坩埚顶部开口相配合之开口，该遮罩之顶部具有复数气流通孔，该遮罩之侧壁具有一入口，该入口用于供加热该坩埚内蒸镀材料用之能量束入射到坩埚内之蒸镀材料上。本发明提供之蒸镀装置可有效防止蒸镀腔室被污染。