用于测试元件之装置

摘要

本文提供用于测试半导体元件的方法及装置。在一些具体实施例中，用于测试半导体元件的总成可包含一探针卡总成；以及，配置该探针卡总成之上表面附近的一热阻障，该热阻障可限定热在测试器端边界条件与该探针卡总成中配置于该热阻障下的部份之间传递。