抛光垫

摘要

本发明系关于一种抛光垫，其表面上包含相互错杂之抛光元件。该等抛光元件中之每一者系经紧固以便限制其相对于该等抛光元件中之其他者的横向移动，但保持可在一正交于该等抛光元件之抛光表面之轴上移动。不同密度之该等抛光元件可定位于该抛光垫之该表面的不同区域内。