| 摘要 |
본 발명은 SmCo나노 분말의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 나노 분말의 제조 장치는 고온의 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 토치, 내부에 도가니가 구비되어 잉곳(ingot) 또는 칩(chip) 상태의 SmCo을 수용하며, 상기 플라즈마 토치가 장착되어 상기 잉곳(ingot) 또는 칩(chip) 상태의 SmCo을 용융 및 기화시킬 수 있고, 적어도 일측으로 냉각 가스가 유입되어 SmCo분말을 생성하는 반응 챔버, 상기 반응 챔버에서 생성된 상기 SmCo분말을 필터링하는 필터, 및 상기 SmCo분말로부터 필터링된 SmCo나노 분말을 수거하는 후처리 챔버를 포함한다. |
