发明名称 |
一种等离子高效刻蚀机 |
摘要 |
本发明公开了一种等离子高效刻蚀机,包括反应腔体和分子泵,反应腔体的顶端固定设有多个高压气体喷嘴,在反应腔体的底部设有分子泵,在反应腔体的内部设有静电吸附盘、吸附件以及多个气流调节装置,静电吸附盘两端通过吸附件活动安装在反应腔体的内壁,在静电吸附盘的上下端均设置有多个气流调节装置,本发明结构原理简单,采用多个气流调节装置,能够快速调节反应腔内的气流,确保刻蚀的均匀性,同时采用的高压气体喷嘴,能够均匀喷出高压气体,进一步提高刻蚀的均匀性,提高产品合格率。 |
申请公布号 |
CN105845536A |
申请公布日期 |
2016.08.10 |
申请号 |
CN201610315819.6 |
申请日期 |
2016.05.12 |
申请人 |
温州海旭科技有限公司 |
发明人 |
陈德榜 |
分类号 |
H01J37/32(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/32(2006.01)I |
代理机构 |
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 |
代理人 |
翟羽 |
主权项 |
一种等离子高效刻蚀机, 包括反应腔体(1)和分子泵(2),其特征在于:所述反应腔体(1)的顶端固定设有多个高压气体喷嘴(3),在所述反应腔体(1)的底部设有分子泵(2),在所述反应腔体(1)的内部设有静电吸附盘(4)、吸附件(5)以及多个气流调节装置(6),所述静电吸附盘(4)两端通过吸附件(5)活动安装在反应腔体(1)的内壁,在所述静电吸附盘(4)的上下端均设置有多个气流调节装置(6)。 |
地址 |
325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海园区滨海十路716号7号楼 |