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发明名称 VAPOUR PHASE METHOD FOR MANUFACTURING EPITAXIAL SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 GB2038553(A) 申请公布日期 1980.07.23
申请号 GB19790043451 申请日期 1979.12.18
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 C30B25/16;H01L21/205;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
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