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发明名称 ZELLE FUER EPITAXIE DURCH MOLEKULARBESTRAHLUNG UND VERFAHREN DAFUER.
摘要
申请公布号 DE3763907(D1) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 DE19873763907 申请日期 1987.05.14
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS, FR 发明人 DEMAY, YVES, F-78210 SAINT CYR, FR;GAILLIARD, JEAN PIERRE, F-38100 GRENOBLE, FR;MILLION, ALAIN, F-38000 GRENOBLE, FR;PIAGUET, JEAN, F-38320 EYBENS, FR
分类号 C30B23/08;C30B23/06;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/06 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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