PHOTO-CVD DEVICE,申请号JP19890169172-传众专利搜索

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发明名称	PHOTO-CVD DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0336272(A)	申请公布日期	1991.02.15
申请号	JP19890169172	申请日期	1989.06.30
申请人	SONY CORP	发明人	SATO JUNICHI
分类号	C23C16/48;H01L21/31	主分类号	C23C16/48
代理机构		代理人
主权项
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