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发明名称 THIN FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH0336270(A) 申请公布日期 1991.02.15
申请号 JP19890167966 申请日期 1989.06.29
申请人 SONY CORP 发明人 MUROYAMA MASAKAZU;GOCHO TETSUO
分类号 C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/31 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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