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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04155927(A) 申请公布日期 1992.05.28
申请号 JP19900281553 申请日期 1990.10.19
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SATO KATSUHIKO
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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