发明名称 A chemical vapor deposition process to replicate the finish and/or figure of preshaped structures.
摘要
申请公布号 EP0425196(B1) 申请公布日期 1994.05.11
申请号 EP19900311459 申请日期 1990.10.18
申请人 CVD INCORPORATED 发明人 TAYLOR, RAYMOND L.;PICKERING, MICHAEL A.;KEELEY, JOSEPH T.
分类号 C23C16/26;C23C16/22;C23C16/01;C23C16/32;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/32;G02B5/08;C04B35/56;B64G1/66 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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