发明名称 |
A chemical vapor deposition process to replicate the finish and/or figure of preshaped structures. |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0425196(B1) |
申请公布日期 |
1994.05.11 |
申请号 |
EP19900311459 |
申请日期 |
1990.10.18 |
申请人 |
CVD INCORPORATED |
发明人 |
TAYLOR, RAYMOND L.;PICKERING, MICHAEL A.;KEELEY, JOSEPH T. |
分类号 |
C23C16/26;C23C16/22;C23C16/01;C23C16/32;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/32;G02B5/08;C04B35/56;B64G1/66 |
主分类号 |
C23C16/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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