| 发明名称 |
DEVELOPING METHOD AND APPARATUS THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0150596(B1) |
申请公布日期 |
1998.10.01 |
| 申请号 |
KR19950001839 |
申请日期 |
1995.02.02 |
| 申请人 |
SUGIMOTO, KENJI |
发明人 |
DAI-NIPPON SCREEN MFG CO.,LTD |
| 分类号 |
G03F7/30;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03C5/26;G03D3/02;G03D5/00 |
主分类号 |
G03F7/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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